Chemtron CVD專用氫氣發(fā)生器不能啟動故障怎么檢修?
1.發(fā)生器不能啟動。
故障原因:(1)電路沒有接通;(2)氫氣開關(guān)電源損壞;(3)在壓力為0空載運行時電解池?zé)龎摹?/span>
檢查方法:(1)檢查電路;(2)用萬用表測量電解池的電壓是否在2.3V左右。
排除方法:(1)修理電源;(2)更換損壞的氫氣開關(guān)電源;(3)更換電解池。
2.產(chǎn)氫達(dá)不到預(yù)定的壓力。
故障原因:(1)氣路系統(tǒng)漏氣;(2)過濾器或過濾器上蓋沒有擰緊;(3)氫氣電解池反漏。
檢查方法:用檢漏液檢測各氣路連接處。
排除方法:(1)更換漏氣元件;(2)擰緊漏氣點;(3)廠家更換電解池。
3.產(chǎn)氫超過預(yù)定的壓力。
故障原因:(1)自動跟蹤裝置擋光板錯位或脫落;(2)光電耦合損壞。
檢查方法:(1)目測;(2)用萬用表測量電路。
排除方法:(1)前面板上的壓力達(dá)到0.3MPa時關(guān)閉電源,把擋光板安裝在合理的位置上,打開電源開關(guān)輕輕敲緊擋光板即可;(2)更換損壞的光電耦合元件。
4.發(fā)生器能啟動,但氫氣的數(shù)顯顯示為0或黑屏。
故障原因:數(shù)字顯示表損壞。
檢查方法:用萬用表測量電路。
排除方法:更換數(shù)字顯示表。
5.開機(jī)后,產(chǎn)氫量達(dá)不到300ml/min或需要很長時間才能達(dá)到。
故障原因:(1)電解液失效;(2)開關(guān)沒有旋緊,有漏氣現(xiàn)象。
檢查方法:(1)觀察電解液的液面是否低于下限或電解液使用半年以上;(2)試漏。
排除方法:(1)及時添加二次蒸餾水或去離子水;?qū)⑿屡渲玫睦鋮s后電解液(母液)倒人儲液桶內(nèi),再加入二次蒸餾水或去離子水,水位在水位線上下限之間(氫氧化鉀溶液的濃度為l0%左右),擰上外蓋,10min后即可使用;(2)繼續(xù)旋緊開關(guān),使儀器的壓力和流量達(dá)標(biāo)。
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